Osmanlı İmparatorluğu'nun 1839'da Gülhane Hatt-ı Hümayunu'nu kabul ettikten sonra iktisadi, siyasi ve sosyal bir değişim sürecine girerek, merkezde ve yerel düzeyde çeşitli meclisler oluşturarak gayrimüslimler ile Müslümanların eşitliğini ve kanun hâkimiyetinin sağlanması amaçlanmıştır. Bunun ilk örneklerini de eyalet ve sancaklardaki idare meclisleridir.
Osmanlı İmparatorluğu'nun çöküş dönemindeki yenileştirme çalışmaları, İdare sistemini de etkilemiş ve bunun sonucunda bir mahalli idarebirimi olan İl Özel İdareleri, Osmanlı İdare sistemine Fransa modeli olarak girmiştir.

İlk defa 22 Eylül 1858 tarihli ?Vali, Mutasarrıf ve Kaymakamların Vazifelerini Şamil Talimatname? ile ülke; eyalet, kaza ve kariye'lereayrılmış, eyaletin idareleri valilere, kaza (liva, sancak)ların idaresi kaymakamlara verilmiştir. Müstakil sancaklar, yani eyalete bağlı olmayan sancaklar ise, birer mutasarrıf idaresine terkedilmiştir.
Eyaletlerdeki sıkı merkeziyet, hem merkezin işlerini artırıyor, hem de mali işleri aksatıyordu. Bunları önlemek amacıyla yeni düzenlemeler getirilmek istenmiştir.

Bugünkü İl Özel İdaremizin temeli,7 Kasım 1864 tarihli ? Teşkili Vilâyet Nizamnamesi? ne göre İl'lerin kuruluşu ile ortaya çıkmıştır. 19. Yüzyıl sonlarında çeşitli karışıklıklara sahne olan Nis, Silistre ve Vidin eyaletleri birleştirilerek, (Tuna Vilayeti ) adıyla yeni bir düzenlemeye kavuşturulmuş, böylece Osmanlı İmparatorluğu'nun taşra idaresinde ?Eyalet? sisteminden ?İl? sistemine geçişin ilk adımı atılmıştır.
Daha gelişmiş bir Mahalli İdare anlayışı, ilk kez 1876 Anayasasında görülmektedir. Bu anayasada Genel Meclisin yılda bir kez İl merkezinde toplanacağı, üye seçimlerinin ve genel meclisin görevlerin özel bir kanunla tesbit edileceği belirtilmiştir. Ancak hazırlanması gereken kanun(Teşkili Vilayet Kanunu) adıyla ele alınmışsa da II Abdulhamit'in millet meclisini dağıtmasıyla bu kanun çıkarılamamıştır.
1908 yılında ikinci Meşrutiyet'in ilanıyla 1876 Anayasası yeniden yürürlüğe konulmuş, bu dönemde illerde genel meclis toplantıları yapılmış ve Vilâyet Kanunu yeniden ele alınmıştır. İki bölümden oluşan tasarının birinci bölümü ilin genel idaresini, ikinci bölümü ise

İl Özel İdaresini kapsamaktaydı.
Ancak hükümetçe hazırlanan tasarı encümence değişikliğe uğramış, uzun tartışma ve görüşmelere yol açmıştır. Bu görüşmeler 1912 yılına kadar aralıklı olarak devam ettikten sonra ? İdarei Umumiyei Vilâyet ? ve ? İdarei Hususiyei Vilâyet ? şeklinde ikiye ayrılarak meclise tekrar sevkedilmiştir. Meclis de tasarı görüşülürken Balkan Savaşı çıktığı için meclis tatil edilmiştir. Fakat Kanun-u Esasi'nin verdiği yetkiye dayanılarak hükümetçe 13 Mart 1329 tarihinde İdarei Umumiye Vilayet Kanun-u Muvakkatı ismiyle yürürlüğe konulmuştur.

Bu geçici kanun iki bölümdür. Birinci bölüm 1-74 maddeler arası illerin genel idaresini düzenlemektedir. Bu kısım 18.04.1929 tarihli ve 1426 sayılı Vilâyet İdareleri Kanunu ile yürürlükten kaldırılmıştır. Bu kanun da 1949 yılında 5442 sayılı İl İdaresi Kanunu ile yürürlükten kaldırılmıştır. İkinci kısım İdare-i Hususiye-i Vilâyat Kanunu Muvakatı 75. maddeden sonra özel idareleri düzenlemektedir. Bu kısmın çeşitli zamanlarda bazı hükümleri kaldırılmış, bazı hükümleri değişikliğe uğramış ve günümüze kadar gelmiştir. Bu hükümlere göre İl Özel İdaresi; taşınır ve taşınmaz mallara sahip, kanunlarla belirli ve sınırlı görevleri yerine getiren, geliri, gideri, bütçesi olan tüzel kişiliğe sahip bir kamu kuruluşu olup bütün Anayasalarımız da yer almıştır.

1982 Anayasasının kabulünden sonra 1984 yılında yapılan ilk Mahalli İdare seçimleri sonucu ve 5.nci beş yıllık kalkınma planlarına göre yeniden önem kazanmış ve böylece günümüz şartlarına uygun hale getirilebilmesi için 26.05.1987 gün ve 3360 Sayılı Kanunla değiştirilmiş, değiştirilen bu kanun 04.03.2005 tarih 25745 sayılı Resmi Gazete de yayımlanarak yürürlüğe giren 5302 sayılı İl Özel İdaresi Kanunu ile yürürlükten kaldırılmıştır.
5302 sayılı yasa ile İl Özel İdaresinin kuruluşu, organları, yönetimi, görev ve sorumlulukları ile çalışma usul ve esasları yeniden düzenlenmiştir.